荷兰学者:ASML深入调研中国企业后发现,实际状况比预期更糟糕
半导体圈引起了不小的骚动,一篇关于荷兰专家在展览上放话的报道一时火遍网络。主要内容是说,作为光刻机巨头的ASML,派人实地走访了中国企业的生产线,回来之后直接摇头不已:国产设备在65纳米到28纳米的制程方面没有太大问题,但一拿出产能和良率的实际数字,远远不如他们预期的表现。
这番话是荷兰记者马克·海金克说的,他在3月份的阿姆斯特丹国际半导体展上提出来的,当时到场的有几百个人,投影屏上还全是测试曲线和照片呢。
ASML不是空想光靠办公室胡思乱想着的,早春时节就组了个10个人的小组,带上扫描仪、厚度计啥的,分成几个小组,直奔上海张江和深圳这些地方,专门盯着中微半导体和北方华创这两家国产的主要企业。测试刻蚀机、薄膜沉积设备,机器一开就跑数据,连续12小时不停歇,记录缺陷率、每月处理的芯片数量啥的。
结果显示,中微的介质刻蚀机在28纳米节点的良率大约在85%左右,不过后续波动挺大的,废品堆积如山;北方华创的沉积设备在厚度均匀性方面表现不错,就是能耗高出15%,高温环境下腔体容易变形,连续跑起来不那么稳定。至于月产能呢?ASML的设备一台动力十足,轻轻松松能出千片,中国的原型机嘛,产量才几百片,成本直接激增不少。
ASML的首席技术官马丁·范登布林克亲自审阅了报告,他强调:光刻机这东西可不是刻蚀或沉积能比的,它得连续24小时不停地转运,保证良率还得保持在95%以上,一点点偏差就可能全盘失败。中国企业在逆向研发DUV设备时,困难重重,甚至有人拆解设备搞坏了,不得不灰溜溜跑去找ASML帮忙修理。
这个差距可不是小打小闹能解决的,涉及到系统集成水平和规模化生产的根本问题。海金克在台上直接说了出来,让ASML看清了技术门槛到底有多高。虽然中国追赶的速度确实挺快,但在短期内,还远远摸不清门道。
别以为ASML就这点事能放松警惕呀,他们可没闲着。马上推“去风险化”策略,跟台积电紧密合作,把生产线铺到美国亚利桑那、日本熊本和德国德累斯顿的3纳米工艺线,柏林的第三厂也在年底开始动工,越南的装配线更是满负荷运转。平时各个环节自主运行,一旦遇到问题,马上接手,供应链那叫稳得很。
到2025年,ASML的总销售目标定在440亿欧元,虽然中国市场占了20%,但他们一点也不紧张,靠着分散布局来应对地缘上的麻烦。台积电也在美国建厂,ASML那边还设了服务中心,培训当地的工程师,备件库也是满满的,准备充分。
回头看看中国这块,自从2018年起,美国就下令封锁EUV设备了。中芯国际当年花了1.2亿美元买了一台,但供应商12月份出问题,导致交货延期。美国政府从2019年开始就不停地施压荷兰,阻止他们批准出口,前大使胡克斯特拉也公开承认,敏感技术是不能让人随便拿走的。
结果怎么样呢?中国企业不得不转向内需市场,上海微电子在十月公布了28纳米光刻的参数,中微在前三个季度的营收已超过80亿,北方华创达到了273亿,薄膜设备也开始销往东南亚。自主生产的比率从2019年的15%一路飙升到2025年接近50%,人才逐步回流,加大投资,技术升级的速度真是肉眼可见。
不过说到底,这“糟糕”不是中国能力不行,而是ASML低估了技术壁垒的坚韧。刻蚀、沉积这些技术,咱们已经批量供给中芯和华虹,28纳米的良率也冲到了85%,可光刻机毕竟是核心,没有它哪怕技术再厉害也没用。
ASML的财报挺抢眼,到了2025年第三季,中国的交付量会占到42%,比第二季的27%猛涨不少,收入比例稳稳保持在20%左右。CEO黄仁勋曾经说过,要是不卖产品,别人就会自己搞,刚开始用的时候难免不顺,后来慢慢就改进行了。ASML自己也坦言,中国一直在不断投资,十年内可能会变成主要的竞争对手。
ASML为何这么着急?主要是因为中国市场实在太大了,2023年的营收比重从8%一下子飙升到49%,几乎快要占据一半了。封锁之前,几乎封死了中国市场,现在虽然还能卖些DUV,但EUV的还卡在技术壁垒上。不过,国内厂商开始冒头,比如华卓精科双工件台打破垄断,南大光电的ArF光刻胶也能用在ASML设备上。ASML自己则筹划2025年量产下一代EUV,预计每年能出90台,DUV能达到600台,高NA20台,还扩招4000个研发岗位。可是中国的反应也快,不打算就这么被堵死,努力追赶。
从长来看,这事儿就像把双刃剑,封锁既带来压力,也逼着创新。短时间内,ASML还能稳住脚跟,而荷兰政府也左右为难,夹在中间不好做决定。美国那边长臂管辖,硬把光源技术绑死,难以松手。可中国这个庞大的市场拉动力十分大,占到了全球设备投入的28%,国产化脚步也迅速加快。ASML的CEO也坦言,中国正在试产自主设备,显然是想摆脱他们的控制。这拆机失败的笑话告诉咱们,逆向仿制不一定管用,自主研发得真正打好基础,才能走得更远。
市场局势已经变了,ASML还是掌握着EUV的霸主地位,但中国买DUV设备的热情高涨,预计到2025年,订单量会站第一。北方华创和中微的收入都实现了翻番,还把产品卖到东南亚,全球市场份额也从15%涨到20%。台积电和三星在EUV方面由美国的公司垄断,但中国则靠不断更新的后端技术逐步追赶并超过,走出了一条弯道超车的路。英伟达的黄仁勋提醒大家:限制越厉害,替代方案也越丰富,反倒激发了创新动力。
总结起来,这次调研揭示了泡沫破裂的迹象,虽然中国确实在进步,但光刻技术的壁垒还是牢不可破。ASML的警报声已经响起,供应链变得更加分散,中国则在“内功”上下功夫。十年后,到底谁能笑到最后?数据摆在那里,短期内,ASML依然是王者,但中国的后劲可不是盖的。半导体行业里,产能和良率是生命线,一出调研,大家都得重新排兵布阵。